產(chǎn)品介紹
超聲波流量計(jì)儀是一種用于檢測半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號，測定各自傳播時(shí)間；順流的超聲波會很快到達(dá)，相反逆向的超聲波則會較晚達(dá)到，根據(jù)傳播時(shí)間算出流速，并通過流速算出流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號，測定各自傳播時(shí)間。
2、無突出部位暴露在流液內(nèi)不會產(chǎn)生測量誤差。
3、與液體接觸部完全使用TEFLON制造。
4、測量范圍大。
技術(shù)參數(shù)
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具體型號 |
USF100A-G10EP |
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計(jì)測方式 |
超音波傳播時(shí)間差方式 |
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耐壓力 |
0.5MPa |
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測定流量范圍 |
0.05-2L/min |
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分辨能力 |
1L/min |
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更新周期 |
0.01秒 |
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測定流量精度 |
±1%FS |
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測定對象 |
流量（純水、藥液） |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理。
