產品介紹
超聲波流量計儀是一種用于檢測半導體制造裝置內，涂布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進行收發(fā)信號，測定各自傳播時間；順流的超聲波會很快到達，相反逆向的超聲波則會較晚達到，根據傳播時間算出流速，并通過流速算出流量。
產品特點
1、配管兩端裝有超聲波探頭，相互進行收發(fā)信號，測定各自傳播時間。
2、無突出部位暴露在流液內不會產生測量誤差。
3、與液體接觸部完全使用TEFLON制造。
4、測量范圍大。
技術參數(shù)
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具體型號 |
USF100A-G10EP |
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計測方式 |
超音波傳播時間差方式 |
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耐壓力 |
0.5MPa |
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測定流量范圍 |
0.05-2L/min |
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分辨能力 |
1L/min |
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更新周期 |
0.01秒 |
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測定流量精度 |
±1%FS |
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測定對象 |
流量（純水、藥液） |
應用領域
半導體制造裝置內，涂布藥液的流量管理。
