直線度可達(dá)10um
X軸最大6m Y軸05m行程
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺(tái)
良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾 Z向震動(dòng)可達(dá)納米等級(jí)以下最大速度可達(dá)5m/s
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度最低可達(dá)50nm
采用無(wú)鐵芯式線性馬達(dá)
慣量小且高加速度
無(wú)頓力
特別強(qiáng)化的鋁制結(jié)構(gòu)且高度低
容易組裝
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