產(chǎn)品功能
定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量，廣泛應用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。
性能優(yōu)勢
技術參數(shù)
| 型號：ZLM700 | 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波長： | 632.8 nm |
| 激光穩(wěn)頻精度： | 一小時2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統(tǒng)精度（0-40℃時）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm (可選3.2mm) |
| 激光管突發(fā)最大輸出功率： | 1mW (激光等級2) |
| 每束光可測量的軸數(shù)： | 1 |
| 線性測量距離： | 40m，可擴展為120m |
| 角度測量范圍： | ± 15°，20m軸線范圍 |
| 平面度測量范圍： | 20m行程 |
| 直線度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 |
| 垂直度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
| 最大速度： | 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 |
| 最大加速： | 無限制 |
| 最高采樣頻率： | 內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時間： | 10分鐘 |
| 精度/非線性： | ±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡) |
| 距離測量分辨率： | 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
| 距離測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
| 線性度測量分辨率： | 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
| 線性度測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
| 速度測量精度： | ±0.5ppm實測值 |
| 角度測量分辨率： | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實測值 |
| 平面度測量分辨率： | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
| 平面度測量精度： | ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
| 直線度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直線度測量精度： | ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 |
| 垂直度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度測量精度： | ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
| 數(shù)據(jù)接口： | 積分信號 32 Bit (實時時間) Dt ? 20 ns |
| 數(shù)據(jù)分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環(huán)境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 |
| 儲存環(huán)境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
應用光路圖
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖
資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf
