光刻機(jī)（JKG-2A）

 光刻機(jī)，是隨著我國(guó)電子工業(yè)發(fā)展，為適應(yīng)生產(chǎn)大規(guī)模集成電路、CCD、表面波、磁泡、微波等器件的光刻需要而設(shè)計(jì)制造的。它可以真空接觸的方法，將掩模上的各種圖案經(jīng)紫外光束的曝光，分別轉(zhuǎn)印至硅片或其它基片上，再經(jīng)其它工序的處理，從而獲得完整的微電子器件。