1、光學(xué)系統(tǒng):國際領(lǐng)先的主流光學(xué)系統(tǒng)-無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)?!?/span>
2、物鏡品質(zhì):平場消色差和平場半復(fù)消色差物鏡。
3、目鏡視野:
4、機(jī)械結(jié)構(gòu):高剛性,高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu),大氣堅(jiān)固。
5、數(shù)碼成像:預(yù)留大視場數(shù)碼接口,各種數(shù)碼成像系統(tǒng),應(yīng)用軟件MM150是國產(chǎn)大行程顯微鏡中的最新產(chǎn)品,專為6英寸及以下的集成電路硅片在線檢查和實(shí)驗(yàn)室分析設(shè)計(jì)。具有成像清晰,工作距離長,使用便利,應(yīng)用軟件豐富的特點(diǎn)。是一款性價(jià)比非常優(yōu)秀的微電子工業(yè)與科研用顯微鏡。