1.AZO靶材
實測密度大于
純度大于99.99%;
相對密度大于99 %。
平板狀AZO靶材最大尺寸600×300×20
筒狀AZO靶材:
直徑:50
壁厚:5
高度:50
2.GZO靶材
實測密度大于
純度大于99.99%;
相對密度大于99 %。
平板狀GZO靶材最大尺寸600×250×20
筒狀GZO靶材:
直徑:50
壁厚:5
高度:50
3.ZnO靶材
實測密度大于
純度大于99.99%;
相對密度大于99 %。
平板狀ZnO靶材最大尺寸600×250×20
筒狀ZnO靶材:
直徑:50
壁厚:5
高度:50
4.ITO靶材
實測密度大于
純度大于99.99%;
相對密度大于99 %。
平板狀ITO靶材最大尺寸500×250×20
筒狀ITO靶材:
直徑:50
壁厚:5
高度:50
依靠先進的工藝,解決了國內(nèi)相關同類企業(yè)難以克服的生產(chǎn)筒狀及穩(wěn)定批量生產(chǎn)大尺寸平板靶材的兩大技術難題。公司可以生產(chǎn)各類規(guī)格型號的AZO、GZO、ZnO、ITO靶材,筒狀、盤狀、平板等均可按客戶需求進行生產(chǎn),并且還能滿足特殊用戶對大尺寸高精度的要求,年產(chǎn)量均可達可達40噸。