氣體質(zhì)量流量計(jì)/DSN-B型 MFM/MFC

特性：DSN-B型  MFC/MFM
(氣體-流量范圍30-200SLPM)

 本產(chǎn)品采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC具有更優(yōu)越的性能優(yōu)勢(shì)：
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
2.高精密的控制機(jī)構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.長(zhǎng)壽命（正常使用可達(dá)十年以上）。
5.采用微小尺寸的傳感器，消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對(duì)層流的破壞，“零點(diǎn)漂移”小于1%。
6.可自行清除工作過(guò)程中的表面污物（注：此項(xiàng)操作須在生產(chǎn)廠家進(jìn)行）。
7.適應(yīng)于一切氣體（包括腐蝕性氣）。
8.一體化設(shè)計(jì)，優(yōu)越的抗電磁干擾性能。