全自動(dòng)硅片顯影機(jī) 1．概述：本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)2″~8″硅片進(jìn)行顯影和定影，該產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn)、一致性強(qiáng)，適用于規(guī)模生產(chǎn)。 2．整臺(tái)設(shè)備材料均為進(jìn)口。 3．本設(shè)備為雙排槽構(gòu)成，每排7槽，各設(shè)一套機(jī)械手，兩排可獨(dú)立同時(shí)完成相應(yīng)的工序。 4．本設(shè)備除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完成。 5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。 6．工作區(qū)潔凈度：100級(jí)。 7．槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間：Tm ax≤3.5S