級(jí)別:TLQ級(jí):過濾精度5µ。
TLP級(jí):過濾精度1µ,殘留油分量:0.5ppm。
TLH級(jí):過濾精度0.01µ,殘留油分量:0.01ppm。
TLC級(jí):過濾精度0.01µ,殘留油分量:0.003ppm(活性炭級(jí))。
型號(hào) |
流量m³/min |
0038E |
1 |
0065E |
1.8 |
0106E |
3 |
0129E |
3.6 |
0165E |
4.6 |
0227E |
6.4 |
0341E |
9.6 |
0441E |
12.4 |
0647E |
18.3 |
0795E |
22.5 |
01045E |
29.6 |