石墨件清洗機(jī)
型號(hào):CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB本設(shè)備用于硅材料行業(yè)中,用于腐蝕清洗硅棒制備設(shè)備所用的石墨器件和其他工序反復(fù)使用的石墨器件。設(shè)備共由以下功能單元組成
對(duì)用于硅棒制備設(shè)備所用的石墨器件和其他工序反復(fù)使用的石墨器件進(jìn)行腐蝕、清洗、烘干,具有較快的清洗速度和較高的清洗質(zhì)量,清洗的石墨件最大尺寸為Φ800×800(mm)。
工件進(jìn)出清洗槽人工操作外,其余酸浸、浸煮、配酸、補(bǔ)酸、烘干脫水過程能夠自動(dòng)完成,并能設(shè)定各工序時(shí)間。確保設(shè)備材料耐強(qiáng)酸腐蝕(HCl+HNO3)。