1．概述：本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對2″~8″硅片進(jìn)行顯影和定影，該產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn)、一致性強(qiáng)，適用于規(guī)模生產(chǎn)。
　　 2．整臺設(shè)備材料均為進(jìn)口。
　　 3．本設(shè)備為雙排槽構(gòu)成，每排7槽，各設(shè)一套機(jī)械手，兩排可獨立同時完成相應(yīng)的工序。
　　 4．本設(shè)備除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成。
　　 5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。
　　 6．工作區(qū)潔凈度：100級。
　　 7．槽間工藝轉(zhuǎn)換時間：Tm ax≤3.5S