我公司在傳統(tǒng)多弧的基礎(chǔ)上，對靶結(jié)構(gòu)、磁鐵、冷卻等進行了嚴(yán)格的改進和設(shè)計，提高了離化率、細(xì)化顆粒，膜層和基材結(jié)合更加牢固、膜層更加致密，硬度耐磨性顯著提高，厚度可以控制在0.5-5微米之間是普通裝飾鍍和工具鍍膜的首選機型。
根據(jù)市場的需求公司研制出輔助陽極、磁過濾、矩形平面靶、圓柱旋轉(zhuǎn)電弧靶等生產(chǎn)品，是制備高硬度、高結(jié)合力、高耐膜性膜層的良好選擇。
技術(shù)參數(shù)：
·真空箱體：主要規(guī)格有ф800×1000mm、ф1000×1200mm、ф1200×1500mm、ф1500×1600mm、ф1800×1950mm，并可心根據(jù)客戶具體要求設(shè)計非標(biāo)產(chǎn)品。
·夾具方式：采用公自轉(zhuǎn)行星式齒輪結(jié)構(gòu)，工作速度在1-15/分鐘可調(diào)，掛具有6軸、8軸、10軸、12軸等各種規(guī)格，適合不同大小尺寸的裝飾、工具鍍膜。
·控制氣體方式：采用質(zhì)量流量計控制，進氣穩(wěn)定，反應(yīng)速度快。靶：采用整體制造技術(shù)，結(jié)構(gòu)合理而簡單，維護更換靶材方便，具有自動/手動引弧動能。
·電源：配置直流脈沖偏壓電源（電壓、占空比可調(diào)節(jié)），逆變電弧電源。
·抽真空參數(shù)：從大氣抽到5×10-3Pa≤15min極限真空度8×10-3Pa。
·抽氣系統(tǒng)：采用國產(chǎn)品牌機械泵、羅茨泵、擴散泵、也可以根據(jù)客戶的需要配備分了泵或者進口泵。
