鍍鎳拋光清洗設(shè)備

1.本設(shè)備是鍍鎳拋光清洗設(shè)備，適用于4-6英寸半導(dǎo)體硅片清洗工藝

2.整機(jī)由機(jī)臺(tái)、操作臺(tái)面、清洗槽體、封閉電爐子，排風(fēng)、機(jī)臺(tái)照明、電氣控制系統(tǒng)等組成。整體顏色為瓷白色，德國(guó)PP板。

3.共3個(gè)槽體，電磁爐臺(tái)位2個(gè)，DIW清洗槽1個(gè)

4.可清洗的硅片批量：25片/籃，每批2 籃

5.設(shè)備的左、右前方各配置PP材料的水槍、四氟N2GUN各一把。

6.電力供應(yīng)：三相 220V/50Hz  500W

7. PLC控制器

8. 聲光提示、報(bào)警功能

9. 設(shè)備照明：20W封閉日光燈