產(chǎn)品概況大平臺工業(yè)顯微鏡，配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
1．采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2．拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3．采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4．WF10X（Φ25）超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。
5．可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。

技術(shù)規(guī)格

金相顯微鏡型號

光學(xué)系統(tǒng)       UIS 無限遠光學(xué)系統(tǒng)

光路設(shè)計       反射光路設(shè)計

觀測方式       明/暗場觀測、偏光觀測、微分干涉（DIC）觀測

放大倍數(shù)       50X-1000X（可擴展至2000X）

目鏡       超寬場、超大視場目鏡10× 視場直徑達到￠25mm

物鏡       平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡：（標配四個）
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.4B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm

轉(zhuǎn)換器    帶微分干涉（DIC）插口的四孔轉(zhuǎn)換器

偏光裝置       檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

濾光裝置       插板式濾色片（綠、藍、中性）

聚光鏡    NA1.25阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾色片

數(shù)碼系統(tǒng)       300萬像素彩色CCD系統(tǒng)，實時視頻輸出、數(shù)碼拍照、各種圖像處理功能

圖像軟件       可實現(xiàn)對顯微圖像的線寬、線距、角度、兩點間距離、圓、平行線間距離、任意曲線長度任意多邊形等的幾何尺寸測量。精度可達±1μm. 可拍照數(shù)碼照片進行分析、存儲、處理等

調(diào)焦系統(tǒng)       具有粗、微調(diào)同軸調(diào)節(jié)，行程40mm，微動格值0.002mm

載物臺    二維移動載物臺，低位同軸手輪操作
X、Y移動范圍：250mm×250mm；平臺尺寸： 350mm×310mm

照明系統(tǒng)       落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V/100W，
AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)

選 配

金相分析軟件及
數(shù)碼彩色CCD系統(tǒng)      全套共380多個模塊主要用途

    大平臺檢測金相顯微鏡作為高級工業(yè)顯微鏡還可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛應(yīng)用于太陽能電池硅片制造業(yè)、半導(dǎo)體晶圓制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)；還應(yīng)用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校等。