美國VARIAN公司VS氦質(zhì)譜檢漏儀[詳細(xì)內(nèi)容]
美國VARIAN公司VS氦質(zhì)譜檢漏儀

VS系列氦質(zhì)譜檢漏儀

特性及優(yōu)點(diǎn)

·多種語言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面

·135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)

·新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)

·最小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程

·快速清氦和快速響應(yīng)

·測(cè)試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏

 技術(shù)規(guī)格

性能指標(biāo)

PR02

MR15&MD30

性能

前級(jí)泵內(nèi)置式

前級(jí)泵外置式及小車

前級(jí)泵        油式機(jī)械泵

DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

DS-302 14 m3/hr (232 l/m)

渦卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5×10-12 atm cc/sec；

 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

測(cè)試口最高耐壓

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

測(cè)試口處對(duì)氦氣抽速

1.8 l/s

校準(zhǔn)程序

自動(dòng)或手動(dòng)（內(nèi)置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，并具有零點(diǎn)追蹤功能

操作界面

高清晰彩顯，TFT觸摸屏

語言選擇

中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語

循環(huán)檢測(cè)

可編程粗抽時(shí)間/測(cè)試時(shí)間，設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)

響應(yīng)時(shí)間

＜1.0秒

設(shè)定點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)；5個(gè)設(shè)定點(diǎn)；常開或常閉；3個(gè)漏率點(diǎn)；1個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn)；1個(gè)聲訊點(diǎn)

通訊協(xié)議

RS-232 通訊借口，9600波特率（9芯竄口）

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

UL，CE，CSA