KW-5型臺式勻膠機

中國半導體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦中國著名品牌 SIYOUYEN^®

臺式勻膠機：（Spin   Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin Coater)   
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。   

型號MODEL KW-5型

產(chǎn)品概述:  
SIYOUYEN品牌KW型勻膠機適應(yīng)于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  
勻膠機穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.  
該機在這方面采取了許多措施:  
(一)該設(shè)備采用美國先進技術(shù),采用進口配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子，美國電機） 
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.  
(三)本勻膠機有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).  
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當馬達旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級.  
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.  
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間. 
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘. 
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度. 
(九)勻膠機配真空泵使用（KW-5型勻膠機 推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SML-140型） 

1,特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機,兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn).  
Ⅰ檔  調(diào)速范圍：500 -1000轉(zhuǎn)/分   Ⅰ檔  勻膠時間：2-18秒  
Ⅱ檔  調(diào)速范圍：1000-5000轉(zhuǎn)/分  Ⅱ檔  勻膠時間：3-60秒 

2,進口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準.
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%  ,膠的均勻性：±3%  . 
4,三相電源：380V 
5,電機功率：180W   
6,適用：Φ100-Φ200mm（4”~~8”）硅片及其它材料等勻膠.  
7,真空泵抽氣速率   ≥1200升/分   
8,設(shè)備尺寸：500×500×460   mm