KW-5型臺(tái)式勻膠機(jī)

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)CSIA推薦中國(guó)著名品牌 SIYOUYEN^®

臺(tái)式勻膠機(jī)：（Spin   Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽(yáng)板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)   
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。   

型號(hào)MODEL KW-5型

產(chǎn)品概述:  
SIYOUYEN品牌KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  
勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).  
該機(jī)在這方面采取了許多措施:  
(一)該設(shè)備采用美國(guó)先進(jìn)技術(shù),采用進(jìn)口配件(韓國(guó)定子和轉(zhuǎn)子，美國(guó)電機(jī)） 
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開(kāi)供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開(kāi)關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.  
(三)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).  
(四)本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開(kāi)關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過(guò)差一個(gè)數(shù)量級(jí).  
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率.  
(六)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來(lái)完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間. 
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘. 
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度. 
(九)勻膠機(jī)配真空泵使用（KW-5型勻膠機(jī) 推薦使用雙級(jí)無(wú)油環(huán)保真空泵 SML-140型） 

1,特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間分別連續(xù)節(jié),在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).  
Ⅰ檔  調(diào)速范圍：500 -1000轉(zhuǎn)/分   Ⅰ檔  勻膠時(shí)間：2-18秒  
Ⅱ檔  調(diào)速范圍：1000-5000轉(zhuǎn)/分  Ⅱ檔  勻膠時(shí)間：3-60秒 

2,進(jìn)口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn).
3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%  ,膠的均勻性：±3%  . 
4,三相電源：380V 
5,電機(jī)功率：180W   
6,適用：Φ100-Φ200mm（4”~~8”）硅片及其它材料等勻膠.  
7,真空泵抽氣速率   ≥1200升/分   
8,設(shè)備尺寸：500×500×460   mm