氬氣純化循環(huán)設(shè)備

一、原理說(shuō)明：

氬氣是大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)單晶硅的保護(hù)氣，它的要求之高，是控制經(jīng)營(yíng)成本必須重視的一個(gè)重要方面。

將排出含有粉塵雜質(zhì)的氬氣，除去固體雜質(zhì)，經(jīng)緩沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓,，經(jīng)氬氣純化設(shè)備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在一定溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體，從而達(dá)到對(duì)氬氣精制的目的。最后將凈化后的氬氣送入使用地點(diǎn).

二、設(shè)備構(gòu)成：

1  過(guò)濾器

   2 壓縮機(jī)

3 氬氣純化

6 電氣控制箱                         

三、技術(shù)保障措施；

      1 組合式過(guò)濾工藝，分級(jí)處理。

      2氬氣純化采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法，流速設(shè)計(jì)合理，氣流分布均勻。

      3氬氣純化采用特殊設(shè)計(jì)的加熱構(gòu)造，加熱均勻、穩(wěn)定。

      4 采用優(yōu)質(zhì)管件，閥門，避免管道和閥門影響氣體質(zhì)量。

      5 采用優(yōu)質(zhì)的電器元件和控制儀表，保證溫度穩(wěn)定，減少溫度和影響。

      6氬氣純化的活化程序，嚴(yán)格按照活化程序執(zhí)行，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整。

      7 對(duì)用戶的操作員進(jìn)行設(shè)備操作培訓(xùn)，了解設(shè)備工作原理，掌握設(shè)備操作方法，熟悉設(shè)備的開(kāi)車、停車、停電、停水處理方法。

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