產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
手動(dòng)白光干涉儀,白光儀器,白光測(cè)量?jī)x,
品牌: | SNU | 型號(hào): | SIS 1200 | 操作方式: | 手動(dòng) |
功能: | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | | |
其它型號(hào): | SIS 2000 |
·產(chǎn)品介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),,為韓國(guó)SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商,LPL友好俱樂部成員,清華大學(xué),臺(tái)灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴。
·產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
·技術(shù)參數(shù)
機(jī)型 | SIS 1200 |
工作臺(tái) | 尺寸 | 250 mm×174 mm |
傾斜度 | ±3 ° |
測(cè)量行程 | X:150mmY:100mm |
Z軸行程 | 50mm |
運(yùn)動(dòng)方式 | 手動(dòng) |
掃描速度 | 30μm/sec |
垂直分辨率 | 0.1nm |
CCD | 黑白CCD, 640×480 像素 |
物鏡安裝架 | 手動(dòng)導(dǎo)引五孔式 |
鏡頭選配 | 鏡頭:5×、10×、20×、50× |
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
手動(dòng)白光干涉儀,白光儀器,白光測(cè)量?jī)x,