高性能TA系列勻膠機Spin Coater旋轉(zhuǎn)涂層機
產(chǎn)品簡介:
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
可在科研,教育,生產(chǎn)中應用。
沈陽市司樂機器制造廠 自主設計制造
產(chǎn)品型號: TA-280勻膠機 司樂機器 廠長推薦暢銷產(chǎn)品
TA-280勻膠機: 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
衍生產(chǎn)品有:
TA-280D勻膠機;工作主機獨立,控制器分置。
TA-280Q勻膠機;工作主機獨立且可臺面嵌入式安裝,控制器分置。
TA-360勻膠機: 工作腔內(nèi)徑D370mm 適合直徑D10mm-360mm園片及 254mmX254mm方形片。
衍生產(chǎn)品有:
TA-360D勻膠機;工作主機獨立,控制器分置。
TA-360Q勻膠機;工作主機獨立且臺面嵌入式安裝,控制器分置。
沈陽市司樂機器制造廠 自主設計制造
主要特點:
*高精度26程序控制器:
可設定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負加速度),可設置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
設置程序:國際標準通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。
無需培訓,上手就會操作。
*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。
精準的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮氣保護。
我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計,對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,這一點完全針對科研實驗的苛刻要求而開發(fā)。
*真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統(tǒng)保護性停機。
*伺服電機,轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
最高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*設備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實驗室的最佳選擇。
技術參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設定時間:1---9999秒。
標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,
可選配件 1. 特殊真空吸盤
2. 各種卡盤
3. 60升/分無油真空泵
4.滴膠機
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