花崗石氣浮平臺規(guī)格（mm）

花崗石平板精度等級

000級平面度

00級平面度

0級平面度

1級平面度

平面度公差（um）

300×300×70

1.5

3

5.5

11

300×400×70

1.5

3

6

12

400×400×70

2

3.5

6.5

13

400×500×100

2

3.5

7

14

400×600×100

2

3.5

7

14

400×630×100

2

3.5

7

14

450×600×100

2

3.5

7

14

500×600×100

2

3.5

7

14

500×800×100

2

4

8

16

600×900×100

2.5

4.5

9

18

600×900×130

2.5

4.5

9

18

1000×630×150

2.5

4.5

9

18

1000×750×150

2.5

4.5

9

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