旋片式真空泵是利用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以獲得真空的一種變?nèi)輽C(jī)械真空泵。當(dāng)采用工作液來進(jìn)行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時，即為干式旋片真空泵。在油封旋片真空泵中，國內(nèi)習(xí)慣上稱皮帶傳動的為旋片真空泵，而把泵與電機(jī)直接連接或用聯(lián)軸器連接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中，又有單級和雙級之分。在單級泵中，由于選用的結(jié)構(gòu)形式和參數(shù)不同，泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)較簡單，使用方便，能從大氣壓力下起動，可直接排人大氣，偏心質(zhì)量較小，維護(hù)簡便，雙級泵的極限壓力為6×10-2～l×10-2Pa，一種單級泵可達(dá)4Pa左右，另一種單級泵為50～200Pa左右。