技術說明：
1、國內(nèi)首臺高要求TFT玻璃超聲波高檔超聲波清洗系統(tǒng)；
2、機械臂手采用直線滑塊導向，反向安裝，減少油及粉塵污染且便于維護；
3、 PL控制+人機界面操作；
4、 獨立組裝、獨立車間環(huán)境優(yōu)良；
4、 采用40KHZ、80KHZ、120KHZ多頻率清洗工藝；
5、 清洗工藝先進，適用高檔玻璃清洗；
6、 清洗區(qū)域高效過濾器，無二次污染機會；
7、 慢拉拉機械手傾斜角度可調(diào)。
應用范圍：該設備適用于CF\TFT等玻璃基板、指紋、霉點等雜物的清洗。
