技術(shù)說明：
1、國內(nèi)首臺(tái)高要求TFT玻璃超聲波高檔超聲波清洗系統(tǒng)；
2、機(jī)械臂手采用直線滑塊導(dǎo)向，反向安裝，減少油及粉塵污染且便于維護(hù)；
3、 PL控制+人機(jī)界面操作；
4、 獨(dú)立組裝、獨(dú)立車間環(huán)境優(yōu)良；
4、 采用40KHZ、80KHZ、120KHZ多頻率清洗工藝；
5、 清洗工藝先進(jìn)，適用高檔玻璃清洗；
6、 清洗區(qū)域高效過濾器，無二次污染機(jī)會(huì)；
7、 慢拉拉機(jī)械手傾斜角度可調(diào)。
應(yīng)用范圍：該設(shè)備適用于CF\TFT等玻璃基板、指紋、霉點(diǎn)等雜物的清洗。
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