儀器精度

空間精度　MPEE=（3.5+L/250) μm         單軸精度 MPEE1=（3.0+L/250) μm

分辯率

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

外形尺寸

1.0*1.1*2.2(m)

1.0*1.2*2.2(m)

1.0*1.3*2.2(m)

1.0*1.4*2.2(m)

1.14*1.1*2.4(m)

1.14*1.3*2.4(m)

1.14*1.5*2.4(m)

整機重量

700kg

770kg

840kg

910kg

900kg

1040kg

1180kg

最大承重

200kg

200kg

200kg

200kg

500kg

500kg

500kg

包裝外形尺寸

1.45*1.37*2.1(m)

1.45*1.47*2.1(m)

1.45*1.57*2.1(m)

1.45*1.67*2.1(m)

1.45*1.55*2.4(m)

1.35*1.75*2.4(m)

1.35*1.95*2.4(m)