PG15-J激光平面干涉儀
主要技術(shù)參數(shù)：
1、第一標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），不鍍膜。 工作直徑：D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），不鍍膜。 工作直徑：D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8， 工作直徑：D1=Φ146mm，焦距：f=400mm
4、測(cè)微目鏡：焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X，視場(chǎng)角2w=40o，成像物鏡：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37
5、干涉室尺寸：深260*寬300*190mm。
6、光源規(guī)格：激光ZN18（He-Ne）。
7、儀器的外形尺寸：長(zhǎng)*寬*高 350*400*720mm。
8、儀器重量：100公斤。