型號

SWIM 1510MS

系統(tǒng)配備

顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取得單元、個人計算機

顯微鏡

單眼顯微鏡（標準配件）

干涉物鏡（選配）

 放大率                     視野（mm）                   光學(xué)分辨率（nm）

 10X                             0.5                                     1.12
 20X                             0.25                                   0.84
 50X                             0.1                                      0.61                   

影像縮放

                          1.0X（標配） 0.5X（選配）

垂直掃描控制器

掃描范圍

掃描分辨率

掃描模式

光強度調(diào)整

掃描速度

100 μm 400 μm(選配)

0.1nm

自動

自動/手動

12nm/s（最快）

樣品移動平臺

X、Y平面多動平臺

Z軸移動平臺

位置數(shù)字顯示單元

偏移調(diào)整平臺

 150mm*100mm,手動（標準配件）

80mm, 手動(標準配件)

三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)字顯示器（分辨率1 μm）

手動

 取得單元

 影像傳感器

 感測器解析度

 面型CCD（標準配件）

640*480圖像(標準配件)

電腦配件

Pentium-Computer,17" LCD  Monitor ,120G以上硬盤

分     
析     軟       體       

MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析,快速付利葉轉(zhuǎn)換和濾多，多樣的2D和3D觀測視角圖,外形分析,圖像縮放,標準影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等

階高標準片(選配)

        50nm                 170nm           230nm              470nm           1800nm