臺灣中型等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。 啟天等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等??蛇x擇多種射頻電源發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
1.主要應(yīng)用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。
2.所有元器件及核心部件采用進(jìn)口,保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。
真空泵采用進(jìn)口旋片泵,是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系,在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗,使泵的壽命大大提高,并有效降低了泵的維護(hù)成本,泵的各項保護(hù)措施完善,提高了長時間工作極限,泵油為耐高溫、抗氧化油,泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系,無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部,使機(jī)器緊湊,占地面積小。
3.自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制,所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控,并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間紀(jì)錄,適合維護(hù),可以提供工藝參考。
4.可存儲50組工藝配方,隨意調(diào)用。
清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。
5.工藝參數(shù)受密碼保護(hù),分級密碼管理查詢。
6.一鍵完成全自動工藝,實時故障報警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。
7.自動提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等,避免機(jī)器過載、過老化情形下工作,延長使用壽命。
8.氣體質(zhì)量流量計采用美國進(jìn)口,由模擬量輸入輸出,量程為0~200sccm可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié),根據(jù)特殊的.工藝要求可用PLC對質(zhì)量流量計進(jìn)行PID調(diào)節(jié)而實現(xiàn)真空度的控制。
9.根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵,尾氣處理設(shè)備,油過濾器,過濾返油裝置等。電極結(jié)構(gòu)(已申請專利)的高等離子通量設(shè)計能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。
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