美國AALBORG質(zhì)量流量計(jì)

Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)
廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)
域。產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總
量計(jì)數(shù)器典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、
表面處理等鍍膜工藝 。設(shè)計(jì)特點(diǎn)：－剛性金屬結(jié)構(gòu) －流程范圍從0開始到10
sccm直到0到1000slpm －最大壓力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦
氣 －NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 －可傾斜的LCD讀表 －0-5Vdc或4-20m
A信號(hào)輸出 －電路保護(hù) －可用作便攜式的設(shè)備 －0到100％比例顯示 －可
配備流量計(jì)算機(jī) 精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（1
5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力?？蛇x±1％滿量程（
標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性：±0.5％滿量
程 回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒 溫度系數(shù)：
0.15％滿量程／℃ 壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar） 氣體
／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃） 輸出信號(hào)：0-5Vdc，最小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出：＋12Vdc；
最大200Ω。