磁控濺射靶材
(可為電子與半導(dǎo)體,平面顯示行業(yè),建筑與汽車玻璃行業(yè),薄膜太陽能電池行業(yè),磁存儲行業(yè),工具行業(yè),裝飾行業(yè)提供高品質(zhì)靶材)
高純單質(zhì)金屬濺射靶材(3N-6N):鋁靶Al,鉻靶Cr,銅靶Cu,鎳靶Ni,硅靶Si,鍺靶Ge,鈮靶Nb,鈦鈀Ti,銦靶In,銀靶Ag,錫靶Sn,石墨靶C,鉭靶Ta,鉬靶Mo,金靶Au,鉿靶Hf,錳靶Mn,鋯靶Zr,鎂靶Mg,鋅靶Zn,鉛靶Pb,銥靶Ir,釔靶Y,鈰靶Ce,鑭靶La,鐿靶Yb,釓靶Gd,鉑靶Pt等高純單質(zhì)金屬濺射靶材。
高密度陶瓷濺射靶材(3N-5N):ITO靶、AZO靶,IGZO靶,氧化鎂靶MgO、氧化釔靶Y2O3,氧化鐵靶Fe2O3,氧化鎳靶Ni2O3,氧化鉻靶Cr2O3、氧化鋅靶ZnO、硫化鋅靶ZnS、硫化鎘靶CdS,硫化鉬靶MoS2,二氧化硅靶SiO2、一氧化硅靶SiO、二氧化鋯靶ZrO2、五氧化二鈮靶Nb2O5、二氧化鈦靶TiO2,二氧化鉿靶HfO2,二硼化鈦靶TiB2,二硼化鋯靶ZrB2,三氧化鎢靶WO3,三氧化二鋁靶Al2O3,五氧化二鉭靶Ta2O5、氟化鎂靶MgF2、硒化鋅靶ZnSe、氮化鋁靶AlN,氮化硅靶Si3N4,氮化硼靶BN,氮化鈦靶TiN,碳化硅靶SiC,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶等高密度陶瓷濺射靶材.
備注:CNM生產(chǎn)的陶瓷靶材采用世界最先進的陶瓷生產(chǎn)工藝—惰性氣體保護熱等靜壓燒結(jié)技術(shù),相對密度大于95-99%??梢蕴峁┌胁牡慕饘倩幚砑敖壎ǚ?wù)。
高純合金濺射靶材:鎳釩合金靶Ni-V,鎳鉻合金靶Ni-Cr,鈦鋁合金靶Ti-Al,硅鋁合金靶Si-Al,銅銦合金靶Cu-In,銅鎵合金靶Cu-Ga,銅銦鎵合金靶Cu-In –Ga,銅銦鎵硒靶Cu-In –Ga-Se,不銹鋼靶,鋅鋁合金靶Zn-Al,鎢鈦 W-Ti,鐵鈷 Fe-Co,白銅靶等高純合金濺射靶材。
備注:CNM生產(chǎn)的高純合金濺射靶材:晶粒度小150-60um,相對密度高(99-99.9%),純度高(99.9-99.999%)??梢蕴峁┌胁牡慕饘倩幚砑敖壎ǚ?wù)。
真空鍍膜材料
(鍍制:復(fù)合膜,彩色膜,增透膜,透紫外膜,氣敏傳感器膜,高溫介質(zhì)膜,光學(xué)膜,激光裝置濾光片,保護膜,透明導(dǎo)電膜,變色膜,優(yōu)良的寬帶增透膜,磁性薄膜,可見光區(qū)增透膜,紅外增透膜,分光膜,多層膜,高反射膜,電阻膜,熱反射膜,冷光膜膜)
高品質(zhì)真空鍍膜材料(4N-5N):
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3等高純氧化物鍍膜材料。
2.氟化物:氟化釹NbF3,氟化鋇BaF2,氟化鈰CeF3,氟化鎂MgF2,氟化鑭LaF3,氟化釔YF3,氟化鐿YbF3,氟化鉺ErF3等高純氟化物。
3.其它化合物:硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫化鎘CdS等真空鍍膜材料。
4.金屬鍍膜材料:高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,銅銦鎵合金CuInGa,銅銦鎵硒合金CuInGaSe,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合
金AlSi等金屬鍍膜材料。
備注:CNM生產(chǎn)的真空鍍膜材料均通過SGS認證,純度高,濺點少,放氣量小,薄膜均勻,附著力強,抗腐蝕性強,顏色均勻等優(yōu)點。