一、德國10mm （5MM）NPP板 熱彎/焊接組合加工；清洗對象：2-8寸硅片雙籃/4寸單籃

二、槽體結(jié)構(gòu)：該槽體實現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔（包括氮氣鼓泡）及頂部左右兩側(cè)的DI噴嘴實現(xiàn)槽體的快速注入與排放。

三、工藝控制：快排沖洗槽（QDR）的工作過程由獨立K200型專用控制器保證。它包括工藝時間、沖洗次數(shù)設(shè)置、工作完成提示以及過程中的故障報警、狀態(tài)提示等功能。