一、材料：德國10mm （5MM）NPP板 熱彎/焊接組合加工；

清洗對(duì)象：2寸硅片雙籃/4寸單籃

二、槽體結(jié)構(gòu)：該槽體實(shí)現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔（包括氮?dú)夤呐荩┘绊敳孔笥覂蓚?cè)的DI噴嘴實(shí)現(xiàn)槽體的快速注入與排放。

三、工藝控制：快排沖洗槽（QDR）的工作過程由獨(dú)立K200型專用控制器保證。它包括工藝時(shí)間、沖洗次數(shù)設(shè)置、工作完成提示以及過程中的故障報(bào)警、狀態(tài)提示等功能。