SET3/1064/532/355，SFT3：激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī)/激光刻阻機(jī)　

激光修阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高精度的電阻值或精準(zhǔn)的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)全部擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用高質(zhì)量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平，是取代進(jìn)口產(chǎn)品之首選.

激光修阻機(jī)技術(shù)參數(shù):

1.激光器系統(tǒng)
激光波長(zhǎng)：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)
冷卻方式：風(fēng)冷
對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制
2．激光束定位系統(tǒng)
激光束運(yùn)動(dòng)范圍：50mm X 50mm
重復(fù)定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束最小步進(jìn)：0.76μm
3．分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
運(yùn)動(dòng)方式：空氣懸浮運(yùn)動(dòng)，無(wú)摩擦力
運(yùn)動(dòng)范圍：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm
重復(fù)精度：2μm
定位精度：±15μm
最大運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s
4．測(cè)量系統(tǒng)
激勵(lì)方式：電流激勵(lì)
恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
電阻測(cè)量方式：四線(xiàn)制加電流測(cè)電壓（可選擇二線(xiàn)制）
直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿(mǎn)程電壓）
電阻測(cè)量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R  （R<100Ω）    
              中阻：<0.05%
              高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測(cè)量范圍： 0.1Ω-10MΩ
電阻測(cè)量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿(mǎn)量程條件下）
探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制
5．計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)
工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），19寸液晶
操作系統(tǒng)：Windows XP
軟件可編程，界面友好，功能強(qiáng)大
軟件系統(tǒng)可免費(fèi)升級(jí)和進(jìn)行功能擴(kuò)展
6．圖像監(jiān)視系統(tǒng)
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視
監(jiān)視視場(chǎng)：2-3mm（對(duì)角線(xiàn)）
顯示屏：19寸液晶
7．其它技術(shù)指標(biāo)
供電電壓：220V AC
整機(jī)功耗：1200W

激光器的選擇：
針對(duì)被修調(diào)電阻材料特性，選擇合適波長(zhǎng)的激光器，可提升切割效果，對(duì)于金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長(zhǎng)激光可達(dá)到理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用

激光修阻機(jī)應(yīng)用和市場(chǎng)：

主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車(chē)電器，傳感器，軍工科研，片式電阻行業(yè)等。