ZLDS/N-100是一款非接觸式高精度位移傳感器，具有100微米的量程和15納米的分辨率。它的起始測量距離是3mm，對于被測體有較寬的適用范圍，比如金屬，半導(dǎo)體和玻璃。該高精度位移傳感器可以很容易與現(xiàn)有設(shè)計相接合，而且具有較大的基準(zhǔn)距，它可以相當(dāng)于一個高分辨率的電容傳感器。對于定點測量，振動測量，表面輪廓測量，ZLDS/N-100都是一款理想的測量工具。

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用于光盤、硬盤的在線檢測，還可以應(yīng)用于電機等強磁場測振和表面輪廓測量。

主要特點

高分辨率，可替代電容式傳感器；

對電磁場不敏感，可用于電機等強磁場測振；

寬頻帶，可測高頻振動體；

對被測體表面要求低，反射率4～100%均可用；

 

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