特氣柜（Gas Cabinet），氣瓶柜（BSGS），氣瓶架(Rack)，閥門(mén)箱（VMB），VMP。

1, 雙工藝47L鋼瓶供應(yīng)
2. 自動(dòng)型, Siemens PLC+觸摸屏控制
3. 自動(dòng)吹掃, 自動(dòng)切換，PN2手動(dòng)進(jìn)氣
4. 帶噴淋
5.氣柜抽風(fēng)配置負(fù)壓表
6. 出入口端過(guò)濾(Gasket filter and linefilter)
7. 真空發(fā)生器，高低壓排氣
8. 高低壓端壓力傳感器及壓力表
9.左右盤(pán)面單獨(dú)氦檢漏閥
10.配工藝秤

主要應(yīng)用于：半導(dǎo)體，太陽(yáng)能光伏，微電子，鍍膜等需要高純氣體的行業(yè)。

設(shè)備有全自動(dòng)型，半自動(dòng)型，手動(dòng)型；

詳細(xì)圖紙和資料請(qǐng)聯(lián)系供應(yīng)商。