量塊比較儀測量要求所用儀器具有極高的測量精度。所以傳感器機械部分的制造精良非常重要。公司在近二十年的潛心研究和制造過程中,發(fā)展了一整套專利技術和可稱之為“know how”的專有技術。制造的傳感器具有國際上最高的測量精度,經(jīng)國家最高計量機構多次檢測和認定,WS16的高端產(chǎn)品的精度可達到3納米級(0.003+0.005A)µm。對于一般精度要求的產(chǎn)品,我公司有深厚的技術基礎預以保證。在供貨技術指標上有充足的裕量。多年來,國家發(fā)給我公司的生產(chǎn)許可證就是3納米級的生產(chǎn)許可證。這也是我國唯一的一個3納米級的生產(chǎn)許可證。為此國家計量院每三年都要對我公司產(chǎn)品進行重復的樣機實驗,并對生產(chǎn)場地進行復查。
目前市場上有些制造單位不作任何基礎研究和基礎投資,采購扭簧比較儀作為傳感器的機械部分。這樣從根本上就限制了測量重復性的提高。這類儀器只可能勉強達到0.04µm
另外目前有些制造單位為了實現(xiàn)不用或少用標準量塊檢三等量塊,采用高分辨力高重復性光柵傳感器制造量塊比較儀。雖然光柵在遠距離位移測量方面(千百毫米級)有優(yōu)勢,但原理決定了任何光柵儀器的轉換函數(shù)曲線都含有微抖動成分,所以無論比較距離遠近,都會攜帶一定數(shù)值的由這些抖動成分帶來的誤差。在量塊檢定中,遠距離比較實際意義不大。而測量精度卻是有決定性意義的。用犧牲有決定性意義的事情換取意義不大的遠距離比較測量優(yōu)勢,顯然是屬于技術方案性的錯誤。目前我國計量權威機構已經(jīng)認定的最高精度光柵傳感器產(chǎn)品的測量誤差是0.04µm,國外生產(chǎn)的高精度光柵傳感器產(chǎn)品也是這個水平。此外,如果真想實現(xiàn)少用標準量塊遠距離比較測量檢定三等量塊,在環(huán)境條件和檢定工時等方面都必須付出極高的代價,所以目前在國內(nèi)外已經(jīng)獲得廣泛應用的電腦量塊比較儀,無一例外都是采用電感式傳感器的產(chǎn)品。
最后還要說一點,三等量塊的不確定度是0.1+1L。所以0.04級精度的儀器在精度上是無法勝任的。一般在檢定工作中,所用儀器的精度至少應該達到被檢定器具不確定度的四分之一。
精度等級
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示值誤差μm
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示值范圍μm
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適應的工作
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本公司推薦
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滿足規(guī)程
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珍寶(TR)
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±(0.003+0.005A)
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≥20
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一等傳二等特殊工作
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非常高(UH)
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±(0.006+0.005A)
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≥40
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一等傳二等特殊工作
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甚高(VH)
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±(0.010+0.005A)
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≥100
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二等傳三等二等輪比
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高(H)
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±(0.020+0.005A)
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≥200
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二等傳三等
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普通(N)
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±(0.030+0.005A)
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≥300
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三等傳四等
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二等傳三等
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低(L)
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±(0.040+0.005A)
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≥400
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四等傳五等
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三等傳四等
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