偏擺儀 規(guī)格mm |
中心高度 mm |
測量直徑 mm |
精度(um) |
|
平行方向 |
垂直方向 |
|||
200 |
100 |
200 |
≤8 |
≥5 |
300 |
170 |
270 |
≤8 |
≥5 |
300 |
300 |
560 |
≤8 |
≥5 |
500 |
250 |
460 |
≤8 |
≥5 |
500 |
300 |
560 |
≤8 |
≥5 |
1000 |
250 |
460 |
≤10 |
≥8 |
1000 |
300 |
560 |
≤10 |
≥8 |
2000 |
230 |
460 |
≤30 |
≥20 |
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