3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和獨特的第表面張力廣泛應(yīng)用于半導體制造廠作為熱傳導介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測試設(shè)備及其他設(shè)備。因為FC-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-40沸點高，其隨時間的揮發(fā)也比較少。