3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學(xué)品，具有良好的化學(xué)惰性、電氣絕緣性能、熱傳導(dǎo)性和獨(dú)特的第表面張力廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測(cè)試設(shè)備及其他設(shè)備。因?yàn)镕C-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-40沸點(diǎn)高，其隨時(shí)間的揮發(fā)也比較少。