薄膜反射測量系統(tǒng)

NanoCalc 薄膜反射測量系統(tǒng)

薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。　

特點

·                                 可分析單層或多層薄膜

·                                 分辨率達0.1nm

·                                 適合于在線監(jiān)測

操作理論

最常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。

查找n和k值

可以進行多達三層的薄膜測量，薄膜和基體測量可以是金屬、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫，用戶也可以自己添加和編輯。

應用

NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。

【光電測量產(chǎn)品】

 光源  真空紫外光譜儀  訂制光譜儀  軟X射線光譜儀  拉曼光譜儀  紅外\紫外激光觀察儀  夜視儀器  HPLC熒光光度計  CCD相機  動態(tài)光散射  高速攝影照相機  光纖光譜儀  海洋系列光譜儀  光譜系統(tǒng)  原子力顯微鏡  探測器  濾光片  紅外光譜儀  單色儀  光柵  照度計  光信號電子學儀器  工業(yè)內(nèi)窺鏡  薄膜測量  PC示波器  數(shù)字記錄儀  遠紅外太赫茲光譜儀  太陽光模擬器  袖珍數(shù)碼顯微鏡相機  壓電陶瓷  紫外線固化機  紫外反射鏡  濾光片測量儀  電動位移臺/電控位移臺  納米位移臺  光電探測器  均勻光源 

【激光系列產(chǎn)品】

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