主要特征
l 采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，運動部件采用高硬度輕質鋁合金材料
l X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過硬質陽極化處理的擠壓輕質鋁合金
l Y軸采用一體化槽型花崗巖導軌
l Z軸采用可調式氣動平衡設計，提高了機器的動態(tài)性能，提升Z軸安全性
l 各運動軸均采用高性能直流伺服測速機組和單級多楔帶減速系統(tǒng)
l 三軸采用預載荷空氣軸承，運動更平衡，導軌永不受磨損
l 采用HEXAGON高分辨率金質光柵，分辨率高達0.039vm
l 測量機三軸及工件都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化
| 機器型號 | | Function plus 10158 | Function plus 10218 | Function plus 10308 | Function plus 122110 | Function plus 123010 | Function plus 152110 | Function plus 153010 | Function plus 152112 | Function plus 153012 |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Y | 1500 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | 2100 | 3000 | |
| Z | 800 | 800 | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1200 | 1200 | |
| 測量空間（mm） | Dx | 1364 | 1364 | 1364 | 1564 | 1564 | 1864 | 1864 | 1864 | 1864 |
| Dz | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | 151 | |
| Dz1 | 951 | 951 | 951 | 1151 | 1151 | 1151 | 1151 | 1351 | 1351 | |
| 平臺（mm） | Ph | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| Py | 2000 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | 2600 | 3500 | |
| 支撐（mm） | Sy1 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| Sy2 | 1200 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | 1800 | 2700 | |
| Sx | 1300 | 1300 | 1300 | 1500 | 1500 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2726 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 | 3326 | 4226 |
| W | 1780 | 1780 | 1780 | 1980 | 1980 | 2280 | 2280 | 2280 | 2280 | |
| H | 3422 | 3422 | 3422 | 3622 | 3622 | 3622 | 3622 | 3822 | 3822 | |
| 承重（kg） | | 1300 | 1800 | 2000 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 | 3000 | 3500 |
| 機器重量（kg） | | 5500 | 6500 | 9500 | 7600 | 11000 | 8600 | 13000 | 8800 | 13200 |
| MPEe(μm) | | 3.1+L/300 | 3.5+L/300 | 4.0+L/300 | 5.0+L/300 | |||||
| MPEp(μm) | | 3.3 | 3.7 | 4.2 | 5.2 | |||||
| 光柵尺分辨率(μm) | | 0.078 | ||||||||
| 空間移動速度(mm/s) | | 433 | ||||||||
| 空間移動加速度(mm/s2) | | 1039 | ||||||||
| 流量/供氣壓力 | | 2.5dm3/s(150 NImin). >0.7Mpa | ||||||||
注：工作環(huán)境為溫度（20±2）℃, 濕度為45%-75%
