產(chǎn)品介紹：

主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置?？膳c美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU等國外多種型號擴(kuò)散爐配套（替代進(jìn)口），采用國外先進(jìn)的加工工藝，選用進(jìn)口材料，可處理2-8英寸硅片的擴(kuò)散工作。
產(chǎn)品特性：
◆滿足2"-8"立式、臥式晶圓擴(kuò)散爐"    
◆保溫材料：英國摩根進(jìn)口保溫層
◆絕緣材料：高精度99瓷拉條絕緣子
◆使用溫度：350℃—1300℃
◆外 殼：不銹鋼板/鋁板
◆端 口：優(yōu)質(zhì)氧化鋁氧化鋯
◆控溫段：3-5段控溫
◆ 口 徑：Φ80mm—Φ450mm
◆恒溫區(qū)：100-1300mm
按客戶的爐型要求，可內(nèi)襯高純剛玉管或SiC管