注：產(chǎn)品價(jià)格面議
| 機(jī)型\項(xiàng)目 | TG5 | TG6-9 |
| 鍍膜室規(guī)格 | 700-800*800-880 | 900-1000*100-1200 |
| 極限真空度 | ≤7.6×10-4Pa | |
| 冷態(tài)抽真空時(shí)間 | 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 | |
| 機(jī)組配置 | KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 或KT-500 |
| 靶配置 | 5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶 | 6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶 |
| 配電要求 | 40KW | 50KW |
| 備注 | 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備 | |
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