產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
富士感光漿,富士顯影水,移印感光漿,
產(chǎn)品簡介:
特性:1、FMR是負(fù)性感光抗蝕劑,有較好的耐酸、耐堿性。2、FMR的解像性比較好,由于抗蝕劑中的金屬離子含量極少,所以適合于半導(dǎo)體管(電晶體)、二極體、IC(集成電路)和LSI(大規(guī)模高密度集成電路)等方面使用。
使用方法: 1、表面處理:對金屬板進(jìn)行完全的脫脂、脫錆,脫脂后請充分用水洗。 2、涂布處理:可用多種涂布方法,如旋轉(zhuǎn)、浸蘸、噴涂等。 3、烘干:置入熱風(fēng)恒溫干燥器中,80-1000C,20分鐘;或置于加熱板上,80-1000C,2分鐘。 4、曝光:用i線(365nm)~g線(436nm)曝光。 5、顯像:使用FMR顯像液,在常溫下顯影1分鐘,用FMR洗滌液沖洗30秒。 6、烘烤:在1500C的情況下,加熱20-30分鐘,或置于加熱板上,1500C,3分鐘,可以提高耐腐蝕性。 7、蝕刻:按常規(guī)處理。 8、剝膜:使用FMR剝膜液,在常溫下浸漬2-3分中,然后用水洗。
注意事項(xiàng): 保存在10-200C的陰涼處,感光液及稀釋液體是易燃品,請遠(yuǎn)離火源。 |
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
富士感光漿,富士顯影水,移印感光漿,