我公司采用的現(xiàn)代超純水制造工業(yè)純水設(shè)備典型工藝流程為：
1: 預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點
2: 預(yù)處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
3: 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質(zhì)符合美國ASTM標準，電子部超純水水質(zhì)標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）

軟化過濾水處理設(shè)備是利用過濾體與射頻發(fā)射電極的組合，來完成對系統(tǒng)存在的結(jié)垢、污物、腐蝕、菌藻等問題的處理設(shè)備。設(shè)備結(jié)構(gòu)是由射頻電路、多種換能器、不銹鋼楔型濾筒，水流導(dǎo)向閥、排污裝置所構(gòu)成。射頻發(fā)生電極是根據(jù)系統(tǒng)需處理的問題，配置發(fā)射參數(shù)及電極數(shù)量，應(yīng)用了射頻原理產(chǎn)生不同電磁波的參數(shù)，解決相應(yīng)的結(jié)垢、腐蝕、菌藻滋生等問題，同時增加了自動過濾功能。機電一體，在線排污、阻力小，流量大，運行費用低、維護方便等。