品牌:UNION  HISOMET 系列 型號DHII  產(chǎn)地:日本  非接觸式深度測量工具顯微鏡 UNION顯微鏡 UNION測量顯微鏡

Z軸測量誤差：1微米 (40×) 讀數(shù)精度0.1微米

日本Union HISOMET DHII高精度非接觸深度測量顯微鏡
采用光學和非接觸方法探測焦距的方法，測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測量時產(chǎn)生的。基于目標分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡單地把兩個目標標志部分重合起來進行高精度的測量..

功能：
非接觸測量微細的撞擊、臺階等。
◎ 通過高精度的光學聚焦點檢測和精確的聚焦指示器完成高精確的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到25mm
◎ 同時還可以完成測量點的表面觀察

HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一專利光學“裂像指示器”，結(jié)合精密的Z軸“Cross  Roller  Bearing”導軌，可測范圍25  mm，測量誤差1μm

技術(shù)規(guī)格
型號：DHII
工作臺行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測量范圍：25mm/25mm/25mm
三軸分解度：0.001mm
標準目鏡：10X
標準物鏡：10X

物鏡:

5倍,10倍,20倍,50倍

選配: 100×

用戶:松下,SONY,UATC,NXP,JABILL,SCC,日月光,長電 等等 90%的半導體廠都是用這品牌