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本氧化鈰拋光液為半導體拋光氧化硅專用看上去如牛奶一般模樣,拋光液中金屬離子總濃度45ppm;尺寸分布窄,一次顆粒粒徑中央值為25nm,顆粒粒徑中央值為180nm,拋光液中最大顆粒尺寸<320nm
本納米氧化鈰拋光液,是采取先進的處理工藝,達到國家行業(yè)標準,氧化鈰粒子激光粒度平均粒徑180納米,氧化鈰一次粒徑為25納米,外觀為白色呈藍相的牛奶狀水性液體。具有非常高的拋光效率和穩(wěn)定性。適合于對半導體電子元件、光學器件等產品的拋光亮化。
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