產品關鍵詞：
擴散爐,擴散爐太陽能電池片,微控高低溫擴散爐,
| 太陽能擴散爐 |
設備用途：
該擴散爐供太陽能電池片生產線上156mm×156mm/125mmX125mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用。有四套獨立的工藝爐管。
產品描述： ◆關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。 ◆采用PC作為控制機，對爐溫、氣體流量、閥門動作進行自動控制，并管理全部工藝時序 ◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。 ◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。 ◆控溫精度好，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好。 ◆新型爐體設計結構，保證工藝過程中溫區(qū)溫度的快速穩(wěn)定，更適合于連續(xù)性大規(guī)模生產。 ◆閉管式擴散系統(tǒng)更潔凈、更環(huán)保。
主要技術指標:
◆工作溫度： 300~1300℃
◆有效口徑 根據用戶擴散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長度： 1080mm（可根據用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃
◆單點溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試)：
600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
*可控升溫速度(300～1300℃)：15℃/min
*降溫速度(1300～900℃)： 5℃/min
| ◆氣體流量設定精度： ±2％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自動送料裝置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min |
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產品關鍵詞：
擴散爐,擴散爐太陽能電池片,微控高低溫擴散爐,
![太陽能擴散爐供應廠家--青島晨立]()
