由于SIC爐管價(jià)值高,訂貨周期長(zhǎng),若有損壞,不單是財(cái)產(chǎn)的損失,還會(huì)給正常生產(chǎn)造成很大的影響,所以SIC爐管一直以來都是設(shè)備維護(hù)人員的重點(diǎn)保護(hù)對(duì)象。工程師們?yōu)榱朔乐挂驙t絲變形而損毀SIC管,不得不周期性的對(duì)爐筒進(jìn)行檢查以及其他費(fèi)時(shí)費(fèi)力的工作,占用了工程師和維護(hù)人員很多精力和時(shí)間,而這種模式仍存在很大的安全隱患。由于生產(chǎn)安排比較緊,不可能經(jīng)常性down機(jī)檢查爐筒,工程師檢查爐管周期約為2-3個(gè)月,那在這2-3個(gè)月中,對(duì)于使用時(shí)間較長(zhǎng)的爐體來說就可能會(huì)出現(xiàn)SIC損壞。
國(guó)外進(jìn)口高溫?cái)U(kuò)散爐(配SIC爐管),都配有相應(yīng)的SIC報(bào)警和聯(lián)動(dòng)裝置,在發(fā)生危險(xiǎn)情況時(shí),報(bào)警或跳閘;而國(guó)內(nèi)設(shè)備廠家在做此類設(shè)備時(shí),由于缺乏這種安全意識(shí)以及限于技術(shù)和成本考慮,幾乎都會(huì)將此保護(hù)裝置省掉,給設(shè)備使用廠家造成了很多不必要的麻煩。
國(guó)外進(jìn)口的SIC管保護(hù)儀價(jià)格不菲,是造成半導(dǎo)體工廠一直沒有采用的主要原因。為了解決這一矛盾性問題,S01-SIC保護(hù)儀應(yīng)運(yùn)而生!
S01-SIC爐管保護(hù)儀,是在總結(jié)了國(guó)外同類產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)的基礎(chǔ)上,由青島賽爾微電子有限公司開發(fā)的產(chǎn)品。此保護(hù)儀專用于半導(dǎo)體工廠SIC管的保護(hù),對(duì)SIC管實(shí)時(shí)監(jiān)控,一旦出現(xiàn)危險(xiǎn)情況,馬上報(bào)警或切斷加熱爐體電源,能切實(shí)的保護(hù)SIC管的使用安全,防止因爐絲變形而損壞SIC爐管,保護(hù)半導(dǎo)體廠家的財(cái)產(chǎn)安全。
S01-SIC保護(hù)儀采用了模塊化的設(shè)計(jì)思想,關(guān)鍵部位全部固化和灌封,并且出廠前全部經(jīng)過30×24小時(shí)高溫老化,可靠性極高
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