潔凈室地板-凈化工程
[url=http://www.iwuchen.com/]潔凈室[/url]的地板系統(tǒng)除了需要給在這個區(qū)域工作的人們提供穩(wěn)定的立足點外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設(shè)備,為必要的設(shè)備維修提供方便的通道,并且還要具備堅固的表面保證設(shè)備可以在上面進行改造。潔凈室的地板也提供了電力系統(tǒng)的接地,起到傳導(dǎo)和靜電耗散的作用,消除ESD積累。
由于所有這些原因,潔凈室的地板成為整個潔凈室中最重要的組成部分。然而,很多設(shè)備經(jīng)理或工具安裝人員,在使用潔凈室時都會碰到地板帶來的麻煩。舉個例子,人們要進入地板下面的空間時,就會認識到——由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時候,通常地板塊無法完全復(fù)原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時候,經(jīng)常會損壞它們。
很明顯,隨著時間的推移,這類原因和其他各種因素促使人們尋找一種不同的方法,設(shè)計和建造潔凈室的地板。
從過去到現(xiàn)在
傳統(tǒng)方式安裝一個潔凈室地板系統(tǒng),是在一種叫做“開孔華夫板(open waffle slab)”的上面鋪設(shè)。這種華夫板是混凝土矩陣結(jié)構(gòu),帶有開孔,便于維修和空氣流通。潔凈室地板系統(tǒng)就組裝在這個矩陣結(jié)構(gòu)之上,支架設(shè)在華夫板的開孔之間,支撐潔凈室地板系統(tǒng)。支架通常是2×2英尺,裝配2×2英尺的地板或通路地板塊。
[url=http://www.fenglinji.com/]風(fēng)淋室[/url]對氣流的要求已經(jīng)發(fā)生改變。因為制造空間采用了微環(huán)境,凈化的空氣過濾器數(shù)量減少了。由于產(chǎn)品是放在前開式標(biāo)準(zhǔn)片盒(FOUP)里或一個晶圓傳送系統(tǒng)里,把材料傳送到每個微環(huán)境中去,在那里進行加工處理。
盡管潔凈室仍然需要過濾空氣,但過濾器的數(shù)量逐漸從100%覆蓋率降低到到35%覆蓋率。結(jié)果,流過整個空間和經(jīng)過架空地板的空氣流量減少,穿孔地板的數(shù)量減少了,從而在潔凈室里更多地使用實心地板。
傳統(tǒng)的地板系統(tǒng)的接地方法在工業(yè)中沒有多大改變。通常的方法是夾在支架上,然后連在一起接到建筑物的接地系統(tǒng)里。防靜電地板已經(jīng)被廣泛應(yīng)用,它利用特殊的具有耐化學(xué)腐蝕性的乙烯基材料,而且含有碳元素,具有必要的導(dǎo)電率。地板塊的下方,每個支架頂端,放置一個乙烯基/鐵絲網(wǎng)接地墊。這保證系統(tǒng)中電流正確貫穿所有構(gòu)件。
傳統(tǒng)的地板塊是印模壓鑄鋁,現(xiàn)場處理時重量輕。潔凈室使用的地板分為三類:穿孔、實心和格柵。不管是何種類型,地板塊必須具有一定的強度,以確保承受預(yù)期的重量要求。
在過去的十五年里,潔凈室地板的承重要求大大增加,同樣地適應(yīng)逐漸增加的制造工藝要求。事實上,目前最大滾動荷載從大約1200磅增加到 3000磅。更進一步的復(fù)雜要求是對華夫板的設(shè)計也做改進,減少開孔的數(shù)量。這意謂著地板支架不是2×2英尺間隔,而是2×4英尺的間隔。
為了要解決這個問題,鋼結(jié)構(gòu)已經(jīng)被引用,以提供附加的結(jié)構(gòu)力量和控制振動,支持傳統(tǒng)的2×2 英尺底座間隔。這樣一來,問題解決了,但是,在地板安裝過程中也增加了額外的一個步驟,增加建筑成本和時間進度。
新方法
在未來,[url=http://www.songfengkou.com/]高效空調(diào)過濾器[/url]所有的跡象表明了一個趨勢,即對于較大跨度和高強度的地板需求將會不斷增加。結(jié)果,當(dāng)前的方法可能無法實行。舉例來說,如果大尺寸模具的費用限制了成本,那么印模壓鑄的地板塊將不會得到采用。
很幸運,一些有創(chuàng)造性的解決方案正被引用到工業(yè)中,其中之一是下層結(jié)構(gòu)和地板塊的整合,聯(lián)合兩個系統(tǒng)是很好的解決方法。這方式已經(jīng)有了很大發(fā)展。
這種方式可以被想象成一個擠壓成型的框架形成4×4英尺的盒子,在中心點有一個垂直正交十字結(jié)構(gòu)。擠壓鋁型材具有易延展優(yōu)點,強于印模壓鑄鋁。
除此之外, 當(dāng)要求的荷載增加時,承重框架結(jié)構(gòu)的擠壓深度增加,只需要簡單更換擠壓模具即可,而這僅是更換印模壓鑄用的模具費用一小部分,制作時間也只有原來的四分之一。然后,框架系統(tǒng)會連接到跨距為4英尺的支架上,這個跨距符合開孔華夫板的要求。框架一經(jīng)放置,將一個鑄鋁堵板(4×4英尺的框架總共需要4個)插入已經(jīng)安裝的框架內(nèi)。
參考鏈接:
手術(shù)室凈化工程:http://www.iwuchen.com/6/
潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn):http://www.iwuchen.com/news-2/
潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn):http://www.iwuchen.com/news-3/
無塵廠房設(shè)計規(guī)范:http://www.iwuchen.com/news-4/
無塵車間管理制度:http://www.iwuchen.com/news-5/
潔凈室換氣次數(shù)標(biāo)準(zhǔn):http://www.iwuchen.com/a-95/
潔凈室施工方案:http://www.iwuchen.com/modpic-11/