外延片晶圓激光雕刻機 產品說明：
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機廣泛應用于外延片（芯片、磊晶）行業(yè)，主要用來雕刻序列號，品質穩(wěn)定，雕刻精細，速度快，保證產品質量。臺灣兆晶、上海藍寶、云南藍晶等公司目前都在使用ILS系列芯片激光雕刻機。
原裝進口ILS系列智慧型高精度外延片晶圓激光雕刻機是臺灣最大的工業(yè)用鐳射系統制造商悉心研制的具有國際水準的名牌設備，其核心部件全部從美國原裝進口,曾榮獲“臺灣精品獎”；『激光大師』全球知名品牌，臺灣原裝設備。歷經20年市場風雨考驗，全球同步銷售。外延片晶圓激光雕刻機以全電腦化操控，人性化設計，最優(yōu)的性價比而享譽同行，填補了雕刻機不能切割，切割機不能雕刻的行業(yè)空白。精彩絕倫的雕刻，無與倫比的切割(高精度半切割/全切割工藝)，1524mm/s超高速、超加速的長期無故障運行，是當前外延片晶圓激光雕刻機中的至尊選擇！
ILS系列外延片晶圓激光雕刻機擁有最新設計、易學好用的特性，工作臺面為A2尺寸(或更大尺寸)，電控式Z軸升降，實用貼切的前后開門設計，讓您的加工作業(yè)更靈活，更有彈性。工作區(qū)有內置照明裝置，這個貼心的設計可使您清晰掌控工作狀況。除此之外，ILS系列外延片晶圓激光雕刻機具有高分辨率、高內存、高速度、高精度、高穩(wěn)定性等重要特點，堪稱工業(yè)用行業(yè)標準外延片晶圓激光雕刻機，是掌握速度與精度的最佳雷射系統，是您提高工作效率上的最佳伙伴及有效工具！
外延片晶圓激光雕刻機 軟件特殊效果：
1、斜肩：此功能使得極細線的部分增加了強度
2、反白：點選此功能，能使得黑白反轉
3、鏡射：可自動將圖檔水平反轉
4、補正：可防止原來圖檔中的邊緣被雷射光打到，影響精度
5、打點：可定點打孔，可任意設定停滯及位移的時間
6、位置調整：可任意設定要雕刻或是切割的位置，不需要在電腦上做修正
7、浮雕：可識別顏色及灰度產生浮雕效果
外延片晶圓激光雕刻機技術參數表：
型號 | ILS-IIINM | ||||
有效工作幅面 | 660 × 495mm | ||||
激光功率 | 25W / 30W / 55W / 60W / 100W | ||||
激光源 | 美國原裝金屬射頻激光源、風冷 | ||||
激光波長 | 10.64μm | ||||
功率控制 | 數位式功率控制，可由0.1～100%無段控制，且可依圖形成比例的控制脈波產生速度，同時可依圖形顏色設定不同功率。 | ||||
聚焦鏡 | 標配1.5"聚焦鏡 | ||||
最大速度 | 1524mm/sec(60"/sec) | ||||
重復精度 | 0.001mm | ||||
定位精度 | 0.01mm | ||||
分辨率（DPI） | 1000、500、333、250、200、166 | ||||
最大容納尺寸 | 640(L) × ∞ (W) × 210 (H) mm | ||||
Z軸工作臺調整 | 0～210mm、電動升降 | ||||
記憶體容量 | 標準64MB高記憶體，可同時存儲99個檔案 | ||||
顯示熒幕 | 大尺寸LCD顯示器上有目前執(zhí)行檔案、激光功率、切割雕刻速度、執(zhí)行時間、已儲存檔案內容，及自動偵錯等多項功能顯示 | ||||
傳輸接口 | USB接口、以太網絡連接接口 | ||||
開門設計 | 前后開門設計 | ||||
對焦方式 | 手動/自動對焦 | ||||
驅動程式語言 | 可切換中、英文或自定語系 | ||||
使用軟件 | 所有Windows兼容的CAD及繪圖軟件皆可 | ||||
操作方式 | 可利用Windows兼容的打印機驅動程式來設定，或從操作面板由人工設定 | ||||
安全規(guī)格 | 符合CDRH Class 1 安全規(guī)范，通過CE、RoHS認證 | ||||
冷卻系統 | 氣水分離器 | ||||
排氣設備 | 外部排氣設備 6.0m3/min、4寸風管 | ||||
定位指示 | 紅光模組 | ||||
可選配置 | 旋轉輔助器、切割平臺、真空下吸蜂巢網、印章夾具、網絡打印服務器 | ||||
動力規(guī)格 | 110/220V AC 、10/15AMP、50/60HZ | ||||
整機重量 | 200Kg(25W) | 205Kg(30W) | 225Kg(55W) | 228Kg(60W) | 255Kg(100W) |
外型尺寸 | 970(L) ×865(W) ×990 (H) mm | ||||
