無(wú)塵車間的凈化原理：

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。
無(wú)塵車間的凈化參數(shù)：

換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。

壓   差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；

溫   度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃。

濕   度：45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電

噪聲≤65dB（A）；

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；

照度：300LX。

無(wú)塵車間的結(jié)構(gòu)材料：
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

無(wú)塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無(wú)塵車間要求，百級(jí)無(wú)塵車間要求，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間要求，十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間要求
   無(wú)塵車間要求有五個(gè)方面：1,，耐久性 2.成本 3.適應(yīng)性 4.可維護(hù)性 5.清洗
   1.耐久性：無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
   2.清洗：在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止慮過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)重要的企業(yè)。
   3.成本：微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。Fab能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
   4.適應(yīng)性:一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致極大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將最初的設(shè)計(jì)定型。
   5.維護(hù)性：對(duì)無(wú)塵室 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。 至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來(lái)，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說 :若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須精確。