1)整機(jī)外形尺寸（約）:L770×W620×H580（mm） 外觀噴塑處理；

2)反應(yīng)倉尺寸： W300mm×H300mm×D300mm；

3)電源：主系統(tǒng)電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五線

4)等離子體頻率：13.56MHz；

5)射頻電源功率：（0～500）W連續(xù)可調(diào)；

6)設(shè)備功率：≤1kW

7)控制方式：采用觸摸屏人機(jī)界面的控制方式，操作方式包括手動(dòng)模式或自動(dòng)模式。在自動(dòng)模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時(shí)存儲(chǔ)100組不同的配方。使用時(shí)只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級管理，設(shè)備操作員、工藝人員、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設(shè)備安全性。手動(dòng)模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。

8)標(biāo)配玻璃轉(zhuǎn)子精密流量計(jì)（手動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)配置1路）/MFC質(zhì)量流量計(jì)1路控制（多路可選）

9)氣體流量：(0～200)ml/min （標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃）

10)工作氣體(氧、氬、氫)接口壓力：≤0.5Mpa

11)壓縮空氣（啟動(dòng)氣動(dòng)角閥）接口壓力：0.5Mpa

12)凈化冷卻氣體（氮?dú)猓┙涌趬毫Γ?0.5Mpa 。

13)設(shè)備工作節(jié)拍：單次清洗時(shí)間≤8min（反應(yīng)時(shí)間3min）